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  • 网络深反应离子刻蚀(deep reactive ion etching);反应离子刻蚀技术;深反应离子刻蚀技术

例句

Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill

用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽

Trench Profile Control of Silicon DRIE Process on ICP Tools

ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究